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禹王实业一项目通过国家验收

发布日期:2021-06-03 00:38   来源:未知   阅读:

  该项目总投资5554万元,新增建筑面积11280平方米;购置设备326台(套),建设了4条CVD生产线,年产单晶硅外延用和氮化镓外延用碳化硅涂层石墨基座2.1万套,2009年3月列入国家发改委电子信息产业振兴和技术改造专项。

  该项目突破了石墨基座碳化硅涂层的化学气相沉积技术,建成了目前国内直径最大的碳化硅沉积炉,获得国家发明专利1项,填补了我国微电子、光电子半导体外延材料生产所需特种陶瓷基座的空白,实现半导体生产中关键易耗部件的国产化。澳门六合开奖直播

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